天花板发射室离子化系统提供对所有离子化参数的精确控制
型号5515天花板发射器和控制器型号5522/5582构成了我们最先进的数字房间离子化系统。数字技术允许每个天花板发射器的参数,包括离子输出、离子脉冲定时或数字地址,可以使用型号5571和型号5572手持控制器在它的位置单独设置,或者通过集成软件的IonManager Pro远程设置。对每个天花板发射器的精确微调使离子化系统在任何气流条件下和每个应用中都能达到最佳性能。
全数字技术
单晶硅或钛发射点
先进的反馈技术
小容量和大容量控制器
控制器型号 5522/5582
Simco-Ion, 技术集团的 小型和大型容量控制器,使用户可以从小型系统开始,该系统最多可以控制20个或更少的天花板发射器,通过简单地切换到5582控制器,可以扩展到具有完整软件监控功能的大型系统。
规格
电压
输入:24伏交流电,50/60赫兹,1瓦(典型)输出:每个极性0-20千伏直流电;正负输出电平分别调整
离子发射
脉冲直流电、稳态直流电或备用
发射器
单晶硅或加工钛;可更换
洁净室等级
单晶硅 ISO 14644-1 1级钛 ISO 14644-1 3级
发射棒
2.5, 5, 10, 15, 24, 36, 60, 66 英寸(6.4, 12.7, 25.3, 38.1, 61.0, 91.4, 152.4, 167.6 厘米),可定制长度
维度
1.2英寸高 x 1.4英寸宽 x 17.5英寸长 (3.1 x 3.6 x 44.5 厘米)
重量
1.03 磅(0.465 公斤)
目标市场
生命科学
后端半导体处理
前端半导体制造
目标应用
5515型天花板离子发生器被设计用于在整个洁净室的开放区域内提供均匀的离子化。安装在天花板表面或嵌入式通道内,5515型天花板离子发生器在不破坏洁净室层流空气流动或影响1级洁净室操作类别的完整性的情况下,保持美观。
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